靶材表面電導(dǎo)率值與濺射靶材成品的均勻性、密度分布密切相關(guān)。均勻性差、氧化過度、密度不一都會(huì)導(dǎo)致電導(dǎo)率值產(chǎn)生浮動(dòng)。

美國(guó)康寧公司是材料研究的領(lǐng)導(dǎo)企業(yè)，對(duì)采購(gòu)的靶材有嚴(yán)格的質(zhì)量把關(guān)?？祵幫ㄟ^使用我司的Sigma2008B型數(shù)字渦流電導(dǎo)率儀，在不破壞材料的情況下準(zhǔn)確得檢測(cè)出靶材的均勻性，解決了靶材質(zhì)量無損檢測(cè)的問題。

國(guó)內(nèi)有多家專業(yè)靶材的制造商，一直苦惱于靶材質(zhì)量的無損檢測(cè)，在使用我司的Sigma2008B型數(shù)字渦流電導(dǎo)率儀對(duì)靶材的橫向與圓周方向的電導(dǎo)率值進(jìn)行監(jiān)測(cè)，針對(duì)性的改善工藝后，成功的提升了靶材的質(zhì)量。